Kapazitive Schwingungs- und Beschleunigungssensoren
Im kapazitiven Sensorelement wird die proportionale Änderung der Kapazität zur Beschleunigung, durch eine geeignete Schaltung ausgewertet und als verstärktes und temperaturkompensiertes Signal ausgegeben.
Piezoresistive Beschleunigungssensoren
Die piezoresistiven Technologie beruht auf einer Widerstandsbrücke, bei der die Widerstände zu einer Wheatstoneschen Messbrücke angeordnet sind. Das elektrische Signal ändert sich proportional zur induzierten Schwingung.